（简答题）
什么是特征尺寸？它对集成电路工艺有何影响？
答案解析
（填空题）
集成电路的特征尺寸有时也称线宽，通常是指集成电路中半导体器件的（）。
集成电路制造通常包括集成电路设计、工艺加工、（）、封装等工序。
（判断题）
钻—扩—铰是加工各种尺寸孔的典型加工工艺。
轨道电路的道碴电阻是一个衡量轨道电路漏泄的一个物理量。
光整加工是最后决定零件形状和尺寸精度的加工工艺方法。
如何衡量集成电路的制造水平？
光刻是集成电路制造工艺发展的驱动力。
集成电路的加工过程的基本操作是什么？
