（简答题）
物理气相沉积？
正确答案
物理气相沉积，是指在真空的条件下，利用物理的方法，将材料气化成原子、分子或者使其电离成离子，并通过气相过程，在材料或者基体表面沉积一层具有某些特殊性能的薄膜技术。方法有： 真空蒸镀、溅射镀膜、离子镀膜。
答案解析
略
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物理气相沉积
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（名词解析）
化学气相沉积
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目前正在广泛研究的有化学气相沉积法、（）、固相结晶、等。
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（填空题）
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