（1）离子源，离子源的任务是提供所需的杂质离子；
（2）质量分析器，对从离子源出来的离子进行筛选；
（3）加速器，保证注入离子的能量满足一定的要求；
（4）束流扫描器，离子束是一条直径约1~3的线状高速离子流，必须通过扫描覆盖整个注入区。
（简答题）
离子注入机的主要部件以及它们的主要任务分别是什么？
正确答案
答案解析
略
相似试题
（单选题）
车身壳体是车身部件和零件的安装基础，是由纵、横梁和（）等主要承力元件以及与它们相连接的板件共同组成的刚性空间结构。
（简答题）
离子注入的主要缺点是什么？如何克服？
（简答题）
简述离子注入工艺中退火的主要作用？
（简答题）
列举离子注入设备的5个主要子系统。
（判断题）
离子注入中静电扫描的主要缺点是离子束不能垂直轰击硅片，会导致光刻材料的阴影效应，阻碍离子束的注入。
（简答题）
成条机的主要任务是什么？
（简答题）
过桥机的主要任务是什么？它是如何实现的？
（简答题）
下图是典型并网风力机的剖面图请说明其主要部件的功能和作用。
（判断题）
实现对CVD淀积多晶硅掺杂主要有三种工艺：扩散、离子注入、原位掺杂。由于原位掺杂比较简单，所以被广泛采用。
