A投影射程
B射程纵向分量
C射程横向分量
D有效射程
（单选题）
离子散射方向与入射方向的夹角，称为（）。
答案解析
（多选题）
对于非晶靶，离子注入的射程分布取决于（）。
（）是指每个入射离子溅射出的靶原子数。
损伤的分布与注入离子在在靶内的（）的分布密切相关。
如果固体中的原子排列情况是紊乱的，就称之为（）。
离子束垂直进入均匀的正交磁场后，将同时受到电场力和（）的作用。
干氧氧化中，氧化炉内的气体压力应（）一个大气压。
悬浮在空气中的颗粒称为（）。
在VLSI工艺中，常用的前烘方法是（）。
