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(判断题)

高密度等离子体刻蚀机是为亚0.25微米图形尺寸而开发的最重要的干法刻蚀系统。

A

B

正确答案

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答案解析

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  • (简答题)

    为什么0.25微米以下工艺的干法刻蚀需要高密度等离子体?

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    缩略语PECVD、LPCVD、HDPCVD和APCVD的中文名称分别是()、()、高密度等离子体化学气相淀积和()。

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    刻蚀的高选择比意味着只刻除想要刻去的那一层材料。

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    ()目的是为确定最高钻井液密度和关井极限压力提供依据。

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