(判断题)
高密度等离子体刻蚀机是为亚0.25微米图形尺寸而开发的最重要的干法刻蚀系统。
A对
B错
正确答案
答案解析
略
相似试题
(简答题)
为什么0.25微米以下工艺的干法刻蚀需要高密度等离子体?
(判断题)
与干法刻蚀相比,湿法腐蚀的好处在于对下层材料具有高的选择比,对器件不会带来等离子体损伤,并且设备简单。
(判断题)
干法刻蚀是亚微米尺寸下刻蚀器件的最主要方法,湿法腐蚀一般只是用在尺寸较大的情况下刻蚀器件,例如大于3微米。
(填空题)
缩略语PECVD、LPCVD、HDPCVD和APCVD的中文名称分别是()、()、高密度等离子体化学气相淀积和()。
(判断题)
刻蚀的高选择比意味着只刻除想要刻去的那一层材料。
(判断题)
等离子弧切割具有切割速度高,能切割各种金属,能耗比低,切割厚度比较大。
(判断题)
等离子切割机也与其他焊接设备一样,采用低电压、高电流的工作方式。
(填空题)
测试机织物经纱或纬纱的密度,若起点位于两根纱线中间,终点位于最后一根纱线上,不足0.25根的不计,0.25—0.75根作()根计,0.75根以上作()根计。
(填空题)
()目的是为确定最高钻井液密度和关井极限压力提供依据。