（判断题）
与干法刻蚀相比，湿法腐蚀的好处在于对下层材料具有高的选择比，对器件不会带来等离子体损伤，并且设备简单。
A对
B错
正确答案
答案解析
略
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（简答题）
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（判断题）
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（填空题）
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（判断题）
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