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(简答题)

光刻的本质是什么?

正确答案

光刻就是将掩膜版(光刻版)上的几何图形转移到覆盖在半导体衬底表面的对光辐照敏感的薄膜材料(光刻胶)上去的工艺过程。

答案解析

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