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(简答题)

什么是负性光刻?正性光刻?

正确答案

负性光刻:把与掩膜版上图形相反的图形复制到硅片上。
正性光刻:把与掩膜版上图形相同的图形复制到硅片上。两种工艺的区别:所用光刻胶不同。

答案解析

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