(简答题)
根据成像结果的不同,光刻胶可分为哪两种类型,其中哪种成本较低且应用较早?
答案解析
若计划用图示中掩膜版上黑色区域在硅片上制作扩散区,光刻时需要使用哪种光刻胶?为什么?并简介光刻操作流程。
什么是负性光刻?正性光刻?
解释光刻胶显影。光刻胶显影的目的是什么?
在硅片制造中光刻胶的两种目的是什么?
例举出两种光刻胶显影方法。例举出7种光刻胶显影参数。
解释扫描投影光刻机是怎样工作的?扫描投影光刻机努力解决什么问题?
光刻的本质是什么?
光刻和刻蚀的目的是什么?