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(简答题)

解释亮场掩膜版和暗场掩膜版。

正确答案

如果一个掩膜版,其石英板上大部分被铬覆盖,它就指的是暗场掩膜版。亮场掩膜版有大面积的透明的石英,而只有很细的铬图形。

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