（单选题）
（）是通过把被蒸物体加热，利用被蒸物在高温时的饱和蒸汽压来进行薄膜沉积的。
A蒸镀
B溅射
C离子注入
DCVD
正确答案
答案解析
略
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（）由钟罩、蒸气源加热器、衬底加热器、活动挡板和底盘构成。
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