（名词解析）
刻蚀模
答案解析
（简答题）
什么是干法刻蚀？什么是湿法刻蚀？比较二者的优缺点。
哪种化学气体经常用来刻蚀多晶硅？描述刻蚀多晶硅的三个步骤。
定义刻蚀速率并描述它的计算公式。为什么希望有高的刻蚀速率？
光刻和刻蚀的目的是什么？
干法刻蚀有哪几种？相应的内容是什么？
STI隔离技术中，为什么采用干法离子刻蚀形成槽？
（填空题）
冲孔模的基准模是（）而落料模的基准模是（）
