(单选题)
将硅锭切割成硅片的过程中,多线切割对硅片造成的损伤层的厚度约为()μm。
A10
B20
C5
D15
正确答案
答案解析
略
相似试题
(单选题)
通常由单晶棒所切割的硅片表面可能污染的杂质主要有()
(判断题)
暴露在高温的氧气氛围中,硅片上能生长出氧化硅。生长一词表示这个过程实际是消耗了硅片上的硅材料。
(判断题)
离子注入会将原子撞击出晶格结构而损伤硅片晶格,高温退火过程能使硅片中的损伤部分或绝大部分得到消除,掺入的杂质也能得到一定比例的电激活。
(简答题)
单晶硅硅片的制造过程?
(填空题)
刻蚀是用()或()有选择地从硅片表面去除不需要材料的工艺过程,其基本目标是()。
(判断题)
常减压蒸馏是通过加热、汽化、分离、冷凝和冷却等过程,使液体混合物(原油)中不同沸点的各馏分分离,切割成轻重不同的馏分。
(填空题)
立式炉的工艺腔或炉管是对硅片加热的场所,它由垂直的()、()和()组成。
(判断题)
扩散率越大,杂质在硅片中的移动速度就越大。
(判断题)
不正确的刻蚀将导致硅片报废,给硅片制造公司带来损失。