(判断题)
大马士革工艺的重点在于介质的刻蚀而不是金属的刻蚀。
A对
B错
正确答案
答案解析
略
相似试题
(判断题)
对于大马士革工艺,重点是在于金属的刻蚀而不是介质的刻蚀。
(填空题)
随着铜布线中大马士革工艺的引入,金属化工艺变成刻蚀()以形成一个凹槽,然后淀积()来覆盖其上的图形,再利用()把铜平坦化至ILD的高度。
(单选题)
硅微体刻蚀加工和硅微面刻蚀加工的区别在于()。
(判断题)
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(判断题)
大马士革工艺的名字来源于几千年前叙利亚大马士革的一位艺术家发明的一种技术。
(填空题)
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(单选题)
微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种()。
(简答题)
为什么0.25微米以下工艺的干法刻蚀需要高密度等离子体?
(填空题)
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