（简答题）
描述各同向性和各向异性刻蚀剖面，以及在每一种剖面中哪一种是希望的哪一种是不希望的？
正确答案
各向同性的刻蚀剖面在所有方向上以相同的刻蚀速率进行刻蚀，这将带来不希望的线宽损失。各向异性的刻蚀剖面即刻蚀只在垂直于硅片表面的方向进行，只有很少的横向刻蚀。希望剖蚀面是各向异性的。
答案解析
略
相似试题
（判断题）
各向异性的刻蚀剖面是在所有方向上（横向和垂直方向）以相同的刻蚀速率进行刻蚀。
（填空题）
刻蚀剖面指的是（），有两种基本的刻蚀剖面（）刻蚀剖面和（）刻蚀剖面。
（单选题）
剖面设计主要分析建筑物各部分应有的高度，（），建筑空间的组合和利用，以及建筑剖面中的结构，构造关系等。
（判断题）
石棉具有良好的柔软性、绝燃性，以及良好的防腐性和吸附能力。
（填空题）
剖面设计的任务是确定（）、（）、（）以及（）等。
（判断题）
刻蚀速率通常正比于刻蚀剂的浓度。
（简答题）
简述什么是干法刻蚀与湿法刻蚀。
（简答题）
列举干法刻蚀同湿法刻蚀相比具有的优点，干法刻蚀的不足之处是什么？
（简答题）
剖视和剖面各有哪几种？
