（判断题）
离子源是产生离子的装置。（）
A对
B错
正确答案
答案解析
略
相似试题
（单选题）
离子注入层的深度主要取决于离子注入的（）。
（单选题）
离子注入层的杂质浓度主要取决于离子注入的（）。
（单选题）
从离子源引出的是：（）
（单选题）
反应离子腐蚀是（）。
（判断题）
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（填空题）
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（填空题）
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（简答题）
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（简答题）
什么是离子注入中常发生的沟道效应（Channeling）和临界角？怎样避免沟道效应？
