(简答题)
什么是离子分布的偏斜度和峭度,和标准高斯分布有什么区别?
正确答案
非对称性常用偏斜度γ(skewness)表示:γ为负值表明杂质分布在表面一侧的浓度增加,即x<Rp区域浓度增加。畸变用峭度β(kurtosis)表示:峭度越大,高斯曲线的顶部越平,标准高斯曲线的峭度为3。LSS的理论是呈标准的高斯分布,不同的杂质会不同程度地偏离对称的高斯分布。如图中所示。
答案解析
略
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(填空题)
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