（简答题）
典型的光刻工艺主要有哪几步？简述各步骤的作用。
答案解析
简述几种典型真空泵的工作原理。
简述你所在工艺的工艺质量要求？你如何检查你的工艺质量？
什么叫光刻？光刻工艺质量的基本要求是什么？
粘封工艺中，常用的材料有哪几类？
（判断题）
半导体芯片制造工艺对水质的要求一般.（）
光刻工艺要求掩膜版图形黑白区域之间的反差要低。（）
简述光刻工艺原理及在芯片制造中的重要性？
什么是两步扩散工艺，其两步扩散的目的分别是什么？
