(多选题)
下列扩散杂质源中,()不仅是硅常用的施主杂质,也是锗常用的施主杂质。
A硼
B锡
C锑
D磷
E砷
正确答案
答案解析
略
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(单选题)
半导体硅常用的施主杂质是()。
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化合物半导体砷化镓常用的施主杂质是()。
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在空位扩散中,如果迁移的空位的原子是杂质原子,扩散称为()。
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半导体硅常用的受主杂质是()。
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离子注入的主要气体源中,剧毒的有()。
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离子注入的主要气体源中,易燃、易爆的有()。
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表示杂质在硅-二氧化硅界面处重新分布的性质和程度,习惯上常用()。
(单选题)
()的气体源中一般包含H+,C+,B+,Cl+,O+等离子。