(判断题)
金属剥离工艺是以具有一定图形的光致抗蚀剂膜为掩膜,带胶蒸发或溅射所需的金属,然后在去除光致抗蚀剂膜的同时,把胶膜上的金属一起去除干净。()
A对
B错
正确答案
答案解析
略
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(判断题)
光刻工艺要求掩膜版图形黑白区域之间的反差要低。()
(单选题)
金属封装主要采用金属和玻璃密封工艺,金属作封装底盘、管帽和引线,()做绝缘和密封。
(单选题)
将预先制好的掩膜直接和涂有光致抗蚀剂的晶片表面接触,再用紫外光照射来进行曝光的方法,称为()曝光。
(判断题)
光致抗蚀剂在曝光前对某些溶剂是可溶的,曝光后硬化成不可溶解的物质,这一类抗蚀剂称为负性光致抗蚀剂,由此组成的光刻胶称为负性胶。()
(判断题)
干法腐蚀清洁、干净、无脱胶现象、图形精度和分辨率高。()
(简答题)
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(简答题)
典型的GaAsMESFET结构IC的工艺流程?
(简答题)
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(简答题)
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