(填空题)
化学清洗中是利用硝酸的强()和强()将吸附在硅片表面的杂质除去。
正确答案
答案解析
略
相似试题
(填空题)
热分解化学气相淀积二氧化硅是利用()化合物,经过热分解反应,在基片表面淀积二氧化硅。
(简答题)
衬底清洗过程包括哪几个步骤?
(单选题)
Ⅰ号液是()过氧化氢清洗液.
(填空题)
硅片减薄腐蚀液为氢氟酸和硝酸系腐蚀液。砷化镓片用()系、氢氧化氨系蚀腐蚀液。
(填空题)
腐蚀V形槽一般采用()的湿法化学腐蚀方法。
(简答题)
有哪几种常用的化学气相淀积薄膜的方法?
(简答题)
叙述H2还原SiCl4外延的原理,写出化学方程式。
(判断题)
晶体的特点是在各不同晶向上的物理性能、机械性能、化学性能都相同。()
(填空题)
外延生长方法比较多,其中主要的有()外延、()外延、金属有机化学气相外延、分子束外延、()、固相外延等。