（多选题）
按蒸发源加热方法的不同，真空蒸发工艺可分为：（）蒸发、（）蒸发、离子束蒸发等。
A电阻加热
B电子束
C蒸气原子
正确答案
答案解析
略
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（填空题）
最常用的金属膜制备方法有（）加热蒸发、（）蒸发、（）。
（判断题）
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（判断题）
离子源是产生离子的装置。（）
（单选题）
从离子源引出的是：（）
（单选题）
恒定表面源扩散的杂质分布在数学上称为（）分布。
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（单选题）
恒定表面源扩散的杂质分布在数学上称为什么分布？（）
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